超純水設備的進水水源為反滲透純水或去離子水等，進水電導率要求≤20us/cm，當然，進水水質(zhì)越好，超純水水質(zhì)也越好，其使用壽命也會適當?shù)?/span>增加，其主要應用于工業(yè)生產(chǎn)用水，比如黃金電鍍廠，線路板廠，光電光學廠，LED顯示器材廠，真空鍍膜等等行業(yè)，對水質(zhì)的要求都比較嚴格，像集成電路、半導體要求水質(zhì)電阻率≥18兆歐。
超純水設備的可持續(xù)穩(wěn)定運行。持續(xù)穩(wěn)定應包括兩點:水質(zhì)持續(xù)穩(wěn)定，在持續(xù)取水一段時間后產(chǎn)水水質(zhì)是否會下降。相比混床制取超純水裝置而言，EDI電去離子水設備要穩(wěn)定得多，不過其造價也高很多，
超純水設備主要是經(jīng)過四項過濾的:預處理、反滲透膜、混床（陰陽離子交換器）等。他們都是有相對壽命的，預處理實際上是對反滲透膜的保護，如果它們失效，那么反滲透膜的負荷就加重，壽命減短，如果繼續(xù)開機的話，那產(chǎn)生的純水水質(zhì)就下降，隨之就加重了反滲透膜的負擔，則反滲透膜的壽命就會縮短。最終結果是加大了超純水設備的使用成本。
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